使用激光干涉儀：

1.直線度測量

激光干涉儀的直線度測量有兩個鏡組從0到0測量。1m至4m測量長程從1m至30m。就短距離而言，距離是指直線干鏡和直線反射鏡之間的距離，即可以測試的軸長。從長遠(yuǎn)來看，距離是激光頭和直線反射器之間的距離。在這兩種情況下，激光干涉儀的直線度測量范圍為±2.5mm。線性干涉鏡與反射鏡成對匹配。因此，元素不能與其它線性工具進(jìn)行交換。每一個線性干涉鏡和反射鏡都標(biāo)有獨(dú)立的序列號。

①沿水平軸直線度測量

水平軸直線度檢測，在激光干涉儀的激光和直線度反射器之間安裝直線度干擾鏡。激光發(fā)射的光束將通過直線度干擾鏡。此時，光束將被分成兩個相同頻率的光源。兩束激光器通過直線度反射鏡反射到干擾鏡中，然后返回到激光器中。通過移動直線度反射器干擾兩個相同光源的光束。激光器將檢測干擾光波，以確定直線度干擾鏡移動方向的偏差。并記錄設(shè)備安裝和調(diào)試的偏差值。

②測量垂直軸線度

垂直軸度檢測，引入垂直轉(zhuǎn)向鏡，將激光干涉儀的水平光束轉(zhuǎn)化為垂直光束，檢測原理與水平軸度檢測相同。

2.線性測量

激光干涉儀的線性測量可以檢測機(jī)床軸的多個精度指標(biāo)，包括定位精度，重復(fù)定位精度，反向間隙等。線性測量鏡組包括兩個線性反射鏡和一個線性分光鏡。

激光干涉儀應(yīng)設(shè)置線性測量，將線性反射鏡與兩個緊固螺紋的分光鏡連接起來。這種組合元素被稱為線性測量?！熬€性干涉鏡”，可作為激光束的參考路徑。線性干涉鏡位于激光器和線性反射器之間的光束路徑上。激光束進(jìn)入線性干涉鏡，然后分為兩個光束。一個光束（稱為參考光束）進(jìn)入連接分裂鏡的反射器，第二個光束（測量光束）通過分裂鏡進(jìn)入第二個反射器。射擊。兩個光束再次反射回分裂鏡并返回激光頭，其中一個探測器監(jiān)測兩個光束之間的干擾。