作為一種超精密的非接觸式測(cè)量設(shè)備，雙頻激光干涉儀是現(xiàn)有測(cè)量方法中能做到在納米級(jí)測(cè)量精度的情況下保證大量程和高速度測(cè)量的方法。雙頻激光干涉儀采用外差干涉的方法進(jìn)行測(cè)量，將信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榻涣髁浚朔似胀▎晤l激光干涉儀存在測(cè)量信號(hào)直流漂移的問(wèn)題，因此在超精密測(cè)量領(lǐng)域有著重要作用。

實(shí)際測(cè)量中，無(wú)論是雙頻激光干涉儀還是單頻激光干涉儀，都是以激光波長(zhǎng)作為基準(zhǔn)的，而空氣中的激光波長(zhǎng)是隨空氣的折射率變化的，空氣折射率又是隨溫度、壓力、濕度等因素而變化的。因此，環(huán)境溫度、壓力、濕度等參數(shù)的變化會(huì)對(duì)激光干涉測(cè)量精度產(chǎn)生影響，這種影響被稱為環(huán)境誤差。

環(huán)境誤差在激光干涉儀的系統(tǒng)誤差里面占據(jù)較大的比例，尤其是對(duì)于大量程測(cè)量。而影響環(huán)境誤差的幾個(gè)因素當(dāng)中，溫度影響較大，大約可達(dá)1ppm，即1米的量程，溫度變化1℃所產(chǎn)生的誤差大約為1000nm；其次是氣壓的影響，大約為2.7ppb，即1米的量程，氣壓變化1Pa所產(chǎn)生的誤差大約為2.7nm；至于濕度的影響則很小，幾乎可以忽略。

如果不對(duì)上述環(huán)境誤差進(jìn)行補(bǔ)償，干涉儀的測(cè)量精度是很難達(dá)到納米級(jí)的（尤其是大量程測(cè)量）。環(huán)境誤差的補(bǔ)償目前有直接法和間接法兩種。直接法主要是利用波長(zhǎng)跟蹤器對(duì)空氣中的波長(zhǎng)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量；而間接法則是利用一些溫度壓力濕度傳感器測(cè)量出環(huán)境的溫度壓力等信息，利用經(jīng)驗(yàn)公式間接計(jì)算出實(shí)際的空氣折射率，常用方法有Edlen公式，它是目前用于干涉儀環(huán)境補(bǔ)償常用的方法。